ООО "МАГНЕТРОН" производит и предлагает резистивные мишени из сплава РС 3710 по ЕТО 032.547 ТУ состав мишени (хром 37%, никель 10% , кремний 53% ), все исходные материалы имеют чистоту не менее 99,95%. Способ изготовления мишени, методом импульсного взрыва, отличается от традиционной порошковой технологии и обеспечивает высокую однородность по составу, наименьшее количество дефектов, высокую плотность материала, высокую стойкость к термоударам, растрескиванию при распылении мишени в вакууме.
Мишени из резистивных сплавов предназначены для изготовления резистивных пленок методом ионно-плазменного и магнетронного распыления. Для получения резистивных слоев тонкопленочных изделий электронной техники общего и частного назначения.
Физические и электрические параметры резистивного кремниевого сплава РС 3710.
|
Наименование физических и электрических параметров |
РС3710 |
|
Объемные образцы
Температура плавления, ºС |
1250±15 |
|
Плотность, г/см3 |
4,6-5,0 |
|
Удельное электрическое сопротивление, 10-4 Ом.см |
5-7 |
|
Температурный коэффициент сопротивления в интервале температур 20-150ºС,
10-4 град-1 |
15-25 |
|
Пленки
Удельное поверхностное сопротивление, кОм/квадрат |
0,05-2,00 |
|
Толщина,нм |
15-300 |
|
Температурный коэффециент сопротивления в интервале температур от минус 60 до плюс 125ºС, 10-4 град-1, не более |
±2 |
|
Допустимая мощность рассеяния, Вт/см2, не более |
5 |
Рабочая поверхность мишени должна быть гладкой (шлифованной), образующая поверхность может не подвергаться механической обработке.
На рабочей поверхности распыляемой мишени допускается сетка видимых невооруженным глазом поверхностных трещин, шириной не более 1 мм, следы неслитин, поры, мелкие раковины (диаметром до 5мм) и не более трех отдельных раковин диаметром 5-10мм и глубиной до 2мм.
На контактной поверхности допускаются поверхностные трещины, усдочные раковины, рыхлоты, окисные пленки, а также остатки несошлифованной литейной корки общей площадью не более 20% от площади мишени.
Химический состав распыляемой мишени и допустимое содержание основных примесей зависит от марки (оговаривается спецификацией и сертификатом качества).
Толщина распыляемых мишеней всех типоразмеров (5-10)мм.
По краю распыляемой мишени, за исключением кромок поверхностей сочления составной мишени допускаются недоливы (выемки) глубиной до 5мм в количестве не более трех.