Мишени из кремния, графита.

                                                                                    
 
 
 
Современный этап развития технологии выращивания тонких пленок различных структурных модификаций углерода характеризуется, в частности, значительным вниманием к алмазу, как к полупроводниковому материалу для создания элементной базы мощной, быстродействующей, радиационно стойкой электроники, сенсоров мощных потоков частиц и ионизирующих электромагнитных излучений, холодных электронных эмиттеров, теплоотводов, защитных, просветляющих интерференционных покрытий солнечных элементов и расширением использования алмаза как материала с рекордной твердостью для изготовления абразивного и режущего алмазного инструмента.
Все процессы выращивания тонких алмазных пленок ионными и электронными пучками можно разделить на три категории. К процессам первого типа относятся процессы физического распыления графита ионным пучком и твердофазное превращение пленок графита в алмаз их быстрым нагревом и охлаждением, в частности, мощным электронным пучком. Ко второму типу относятся неравновесные процессы активирования, осветления и превращения наращиваемых пленок графита в алмаз под действием пучка ионов газов низкой энергии, падающих на подложку непрерывно с углеродом, который переносится из графитовой мишени пучком ионов высокой энергии. И наконец, к процессам третьего типа можно отнести процессы наращивания алмаза осаждением ионов углерода из замедленных ионных пучков. Во всех процессах роль ионной составляющей несомненно велика и имеет определяющее значение в образовании алмаза. Представляется, что общую характеристику технологических режимов выращивания тонких алмазных пленок ионными пучками целесообразно дать, исходя именно из такого деления.
 
Мы производим мишени, лодочки, тигли из графитов марок МПГ-6, МПГ-7.
Структура графита марки МПГ мелкозернистая; графит относиться к высокопрочным и малозольным материалам. Из графита МПГ изготавливают изделия для электронной и смежной с ней отраслей техники, а так же тигли, пластины, диски, нагреватели, экраны, лодочки для плавки чистых металлов и другие изделия. Кроме того, из этого материала изготовляют захваты высокотемпературных испытательных установок, пресс-формы горячего прессования, фильеры и т.д. Графит марки МПГ получают из непрокаленного нефтяного кокса и каменноугольного пека прессованием в пресс-форме с последующим обжигом и графитацией.
 
мишени из кремния: (мишени из кремния по спецификации №ЛМТ.34)
мишени из германия: (мишени из германия по спецификации №ЛМТ.37)
 
 
 
 
 
 
Мишень из графита 99,9999%
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
image
 
 
 
 
 
Графитовая изложница.
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Тигли из графита для МВЕ.
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Испарители графитовые 110х150х10мм
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Крышки из графита для тигля.
Размер крышки: 140х1300х10мм.
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Мишень из кремния диаметром 200мм
напаянная на медное основание.
-КДБ Кремний легированный бором
- Р тип, монокристалл
-Уд. эл. сопротивление - 0,002Ом см
(мишени из кремния по спецификации №ЛМТ.34)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Мишень из кремния напаянная на
медное водоохлаждаемое основание.
 Размеры мишени: 700 х 100 х 8мм
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Мишень из SiO2 (диоксид кремния) на медном основании.
Чистота материала 99,9999%
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Мишень из диоксида кремния диаметром 200мм
и толщиной 8мм.
Чистота мишени 99,9999%
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
image
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Мишень из силицида вольфрама диаметром 140мм х 6мм
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Мишень из германия с чистотой 99,999%, для установки "МАГНЕТРОН"
Мишени из германия по спецификации №ЛМТ.37
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
Мишень кольцо из карбида кремния (SiC)
напаянная на медное основание.
Вакуумная установка: "ОРАТОРИЯ - 5"
Диаметр кольца из карбида кремния - 170мм, толщина - 6мм.
 

Москва, ул. Шарикоподшипниковская д.4 корп.1, м. Дубровка, здание "ЦНИИТМАШ", Тел: 8 (965)130-55-52, E-mail »

Яндекс.Метрика