Процесс осаждения распылением производится в атмосфере газа низкого давления или частичного вакуума с использованием либо постоянного электрического тока (DC, или катодное распыление) либо высокочастотных (RF) напряжений в качестве источника высокой энергии. При распылении ионы инертного газа аргона вводятся в вакуумную камеру после достижения нужного уровня вакуума с помощью форвакуумного насоса. Электрическое поле создается подачей высокого напряжения, обычно 5000 V, между двумя противоположно заряженными пластинами. Разряд высокой энергии ионизирует атомы газа аргона и заставляет их двигаться и ускоряться в направлении одной из пластин в камере, которая называется мишенью. Когда ионы аргона бомбардируют мишень из осаждаемого материала, они выбивают или распыляют эти атомы или молекулы. Выбитые атомы материала металлизации затем осаждаются тонкой пленкой на подложках, которые повернуты к мишени.
Мишень из хрома напаянная на медное основание "ОРАТОРИЯ-5"
Возможные варианты материалов:
Cu, Al, Ni, Ti, Cr, Mo, V, Ta, Nb, Zr, Hf.
Композиты:
TiAl, SiAl, NiV, ZrHf, NiCr.
Мишень для магнетронного распыления
из титана для установки "Каролина-Д12"
Возможные
варианты материалов:
Cu, Al, Ni, Ti, Cr, Mo, V, Ta, Nb, Zr, Hf.
Мишень - катод из циркония для распыления в вакууме,
установка УРМЗ.279.048.
Возможные варианты материалов:
Cu, Al, Ni, Ti, Cr, Mo, V, Ta, Nb, Zr, Hf.
Мишени из циркония для распыления в вакууме,
установка Магнетрон МРС-4.
Возможные
варианты материалов:
Cu, Al, Ni, Ti, Cr, Mo, V, Ta, Nb, Zr, Hf.
Катоды из титана для распыления в вакууме,
Возможные варианты материалов:
Cu, Al, Ni, Ti, Cr, Mo, V, Ta, Nb, Zr, Hf.
Мишени из
никеля для распыления в вакууме,
Возможные
варианты материалов:
Cu, Al, Ni, Ti, Cr, Mo, V, Ta, Nb, Zr, Hf.
Катоды из меди марок Моб, МВ для распыления в вакуумных установках
Возможные варианты материалов:
Cu, Al, Ni, Ti, Cr, Mo, V, Ta, Nb, Zr, Hf.
Мишень из кремния диаметром 200мм
напаянная на медное основание.
-КДБ Кремний легированный бором
- Р тип, монокристалл
-Уд. эл. сопротивление - 0,002Ом см
Мишени из композиционного состава
Кремний/Алюминий напаянные на
медные водоохлаждаемые основания.
Состав мишени 90%/10% вес. Размеры мишени: 2650 х 140 х 13мм |
Мишени и катоды для распыления в вакууме
Москва, ул. Шарикоподшипниковская д.4 корп.1, м. Дубровка, здание "ЦНИИТМАШ", Тел: 8 (965)130-55-52, E-mail »