Напайка мишеней, катодов для распыления на водоохлаждаемые основания.
Уважаемые заказчики, мы гарантируем качественную пайку, что подтверждает многолетний опыт работы в этой области.
Находится в стадии оформления (публикуются наши работы по мере выхода)
При разработке магнетронных систем остро встает проблема их охлаждения. Значительные плотности тока на распыляемой поверхности приводят к неравномерному разогреву мишени, что приводит к ее короблению, а в местах плохого контакта с держателем – к ее расплавлению. При этом традиционный метод крепления винтами не эффективен. Больший эффект дает приклеивание мишени к держателю с помощью специальных поводящих клеев, однако наличие локальных областей перегрева при недостаточном охлаждении может вызвать сильное газовыделение и разрушение клеевого слоя. Надежным и эффективным способом крепления мишеней является пайка с помощью припоев на основе олова, индия или их сплавов. В то же время крепление мишеней с помощью клеев и припоев затрудняет замену мишеней, а сами клеи и припои могут влиять на состав газовой среды вакуумного рабочего объема. Поэтому чаще предпочтение отдается тем формам мишени, которые обеспечивают надежный тепловой контакт с водоохлаждаемым держателем и легко снимаются.
Мишень кольцо из хрома марки ЭРХ 99,95
напаянная на медное основание.
Вакуумная установка: "ОРАТОРИЯ - 5"
Диаметр кольца из хрома- 160мм, толщина - 6мм
Мишени из композиционного состава Кремний/Алюминий напаянные на медные водоохлаждаемые основания в весовой пропорции 90%/10%. Размеры мишени: 2650 х 140 х 13мм
Заказчик: ОАО «ИСС» имени академика М.Ф. Решетнёва
Мишень из кремния напаянная на медное основание.
Диаметр мишени - 130мм, толщина - 6мм. Диаметр медного основания - 130мм, толщина - 6мм
Мишени из сплава Индий/Олово - 90%/10% вес. на медных основаниях.
Размер мишени в сборе: 127х720х8мм
Заказчик: ОАО НПО Криптен
Напайка мишеней из кремния и титана на медные основания ( реставрация с заменой мишени )
Заказчик: ФГУП 'НИИ 'Полюс' им. М.Ф.Стельмаха'
Отработанная мишень из сплава индий/олово на медном основании, размер мишени: 140х1600х10мм
Восстановление мишени до исходных размеров.
Заказчик: ФГУП НПП «Технология»
Мишень из кремния диаметром 200мм
напаянная на медное основание.
-КДБ Кремний легированный бором
- Р тип, монокристалл
-Уд. эл. сопротивление - 0,002Ом см
Заказчик: ФГУП 'НИИ 'Полюс' им. М.Ф.Стельмаха'
Медное основание диаметр 220мм х 50мм, подготовленное для пайки к мишени из резистивного сплава РС 3710 (мишень диаметр 200мм х 6мм)
Заказчик: ФГУП Челябинский радиозавод «Полёт»
Мишень из кремния составная, состоит из 30 пластин напаянных на медное основание.
Заказчик: Altus Technology
Мишень из кремния составная из двух секций, чистота материала 99,9999%, напаянная на медное основание.
Размеры мишени: 127х254х5мм
Размеры основания: 146х274х6мм
Мишень из хрома ЭРХ 100х525х10мм, на медном основании.
Ремонт со снятием мишени и последующей напайкой на медное основание.
Заказчик:
Мишень из никеля Н0 с напайкой на медное основание.
Заказчик: ОАО "Завод Реконд"
Мишень из сплава кремний-алюминий на медном основании.
Заказчик:
Мишень из резистивного сплава РС 3710, напаянная на медное основание.
Заказчик: ОАО "ФНПЦ "ННИИРТ"
Мишень из резистивного сплава РС 3710, диаметр 200мм, напаянная на медное основание.
Заказчик: ЗАO "ЭлтеxСпб"
Мишень из алюминия 99,999% напаянная на медное основание.
Размер мишени,мм: диаметр 254мм, толщина 8,9мм.
Заказчик: ЗАО «ВЗПП-Микрон»
Мишень из резистивного сплава РС 3710 напаянная на медное основание.
Размер мишени: диаметр 200мм, толщина 8мм.
Заказчик: ОАО "Омский завод "Автоматика"
Мишень из резистивного сплава РС 3710 с напайкой на медное основание.
Диаметр мишени 180мм.
Заказчик: ФГУП «ФНПЦ НИИИС им.Ю.Е.Седакова»
Медное основание (кювета) для заливки сплава Индий-Олово.
Заказчик: ОАО "МОСАВТОСТЕКЛО"
Готовая мишень из сплава Индий-Олово на медном основании.
Заказчик: ОАО "МОСАВТОСТЕКЛО"
Мишени из кремния монокристаллического марки КДБ, напаяны на медное основание.
Заказчик: ИСЗФ СО РАН
Мишени из кремния монокристаллического марки КДБ, напаяны на медное основание.
Заказчик: http://www.porexi.cz/
Мишень из SiO2 (диоксид кремния) на медном основании.
Чистота материала 99,9999%
Заказчик: ЗАО НПК ВИП,
Мишень из сплава Индий/Олово - 90%/10% вес. на медном основании.
Размер мишени в сборе: 135х1830х10мм
Мишени из хрома 99,95% с напайкой на медное основание. Размер мишеней из хрома 108х434х10мм.
Заказчик: Мосточлегмаш ОАО
Мишень из олова на медном основании с вставками из кобальта.
Заказчик: ОАО “Ресурс”
Мишени из германия, кремния с напайкой на медное основание.
Заказчик: ООО НПЦ ''ЭЛС-94'', Москва
Мишени из резистивного сплава РС 3710 с напайкой на медные основания.
Заказчик: ЗАО "Ферри-Ватт"
Мишень из кремния с чистотой материала 99,999%, на медном основании.
Мишень из магния 99,95% с напайкой к медному основанию.
Мишени из Кремния 99,999% и сплава кремний-алюминий 90%-10% вес., на медном основании.
Мишень из резистивного сплава РС 1004 на медном основании.
Заказчик: ОАО "ОКБ-Планета"
Мишень керамическая сульфид цинка ZnS, с напайкой на медное основание.
Чистота мишени: 99,99%
Диаметр мишени: 200мм
Толщина мишени: 6мм
Заказчик: ЗАО "Ферри-Ватт"
Мишень из кремния, с напайкой на медное основание.
Чистота мишени: 99,9999%
Диаметр мишени: 200мм
Толщина мишени: 6мм
Заказчик: ЗАО "Ферри-Ватт"
Мишень из тантала, с напайкой на медное основание.
Чистота мишени: 99,95%
Диаметр мишени: 200мм
Толщина мишени: 6мм
Заказчик: ЗАО "Ферри-Ватт"
Мишень керамическая MgF2, с напайкой на медное основание.
Чистота мишени: 99,9%
Диаметр мишени: 200мм
Толщина мишени: 6мм
Заказчик: ЗАО "Ферри-Ватт"
Отработанная мишень из хрома на медном основании.
Чистота мишени: 99,99%
Диаметр мишени: 300мм
Толщина мишени: 12мм
Работа по демонтажу отработанной мишени с последующим монтажем новой.
Заказчик: ULVAC (Япония)
Мишень из сплава кремний/алюминий - 98%/2% вес., в виде диска состоящая из четырех сигментов, с напайкой на медное основание.
Чистота мишени: 99,9%
Диаметр мишени: 250мм
Толщина мишени: 6мм
Мишень из титана, с напайкой на медное основание.
Диаметр мишени: 203мм
Толщина мишени: 6мм
Мишени из сплава кремний / алюминий, обратная сторона мишени облужена под напайку к медному основанию.
Заказчик: ИСЭ СО РАН
Напайка мишени из монооксида титана TiO на медное основание.
Диаметр мишени - 140мм.
Заказчик: ФГУП 'НИИ 'Полюс'
им. М.Ф.Стельмаха'
Мишень из висмута на медном основании с чистотой материала 99,99%.
Мишень из резистивного сплава РС 3710 на медном основании.
Заказчик: ОАО "Ставропольский радиозавод "Сигнал"
Мишень из бора на медном основании.
Мишень бор: диаметр 130мм х 8мм.
Медное основание: диаметр 130мм х 24мм.
Чистота мишени из бора 99,9%.
Заказчик: ОАО НПО "ЦНИИТМАШ"
Мишень кольцо из карбида кремния (SiC)
напаянная на медное основание.
Вакуумная установка: "ОРАТОРИЯ - 5"
Диаметр кольца из карбида кремния - 170мм, толщина - 6мм.
Мишень кольцо из ванадия 99,9%
на медном основание.
Вакуумная установка: "ОРАТОРИЯ - 5"
Диаметр кольца из ванадия- 188мм, толщина - 8мм.
Диаметр кольца из меди 150мм, толщина - 10мм.
Заказчик: ОАО "ОКБ-Планета"
Мишень из алюминия 99,999% на медном основании.
Мишень: 100 х 410 х 10мм
Основание: 126 х 420 х 26мм
Заказчик: ОАО ЦНИИ "Циклон"
Мишень из резистивного сплава РС 5406 "К", РС 5606 "Н" на медном основании.
Мишень: 100 х 600 х 6мм
Основание: 126 х 620 х 12мм
Заказчик: Exponet.ru - ВТТ, ООО